Messfeder mit Dünnfilm-Dehnungsmessstreifenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Messfeder

Lame de mesure munie d'un assemblage de jauges de contraintes à couches minces et son procédé de fabrication

Measuring element with a thin-film strain gauge disposition, and its manufacturing process

Abstract

Meßfeder (1) mit einer gegen Umgebungseinflüsse ge­schützten Dünnfilm-Dehnungsmeßstreifen-Anordnung (3) mit einer Isolation zwischen Dehnungs-Meßstreifen-An­ordnung (3) und Meßfeder (1). Als Isolation ist ein zu­mindest eine SiO₂-Schicht (2 bzw. 6) und zumindest eine Si₃N₄-Schicht (4 bzw. 7) aufweisendes Schichtsystem vorgesehen. Weiter ist eine Passivierung (11) aus zu­mindest einer Schicht Silikon-Kautschuk vorgesehen, die zumindest die Dehnungsmeßstreifen-Anordnung (3) ab­deckt.
1. Measurement spring (1), provided with a thin film strain gauge arrangement (3), for measurement pick ups with an insulation between the measurement spring (1) and the strain gauge arrangement (3), said insulation having a silicon dioxide layer (2, 6) characterized in that a layer system including at least one silicon dioxide layer (2 or 6) and at least one silicon nitride layer (4 or 7) is provided as the insulation, and that a passivation (11) made of at least one silicone rubber layer and covering at least the strain gauge arrangement (3) is provided.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-3828295-AAugust 06, 1974Weigh TronixMoisture impervious impact shield for a transducer and method of making the same

NO-Patent Citations (2)

    Title
    MESSEN UND PR]FEN, Nr. 3, März 1982, Seiten 164-167, Bad Wörishofen, DE: "Dünne Schichten für Messgrössenwandler"
    PHILIPS TECHNICAL REVIEW, Band 39, Nr. 3/4, 1980, Seiten 94-101, Eindhoven, NL; K. BETHE et al.: "Thin-film strain-gauge transducers"

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle