Charge transport device and method for its production

Ladungstransportanordnung und Verfahren zum Herstellen einer derartigen Anordnung

Dispositif à transfert de charges et procédé de réalisation d'un tel dispositif

Abstract

L'invention concerne un dispositif à transfert de charges dans lequel, lors de la fabrication, une électrode supérieure (6) ne recouvre pas entièrement un espace (51, 52) séparant deux élec­trodes inférieures (3, 3'). La zone (52) ainsi laissée libre est comblée par un matériau conducteur (9) de même type que l'électrode supérieure (6). Le procédé de réalisation de l'invention permet une fabrication simple sans contrainte de mise en position des masques de fabri­cation des électrodes. Il permet une fabrication sans recouvrement des électrodes supérieures et inférieures, ce qui permet de diminuer les capacités parasites.

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    Title
    FUJITSU SCIENTIFIC & TECHNICAL JOURNAL, vol. 11, no. 3, septembre 1975, pages 101-119, Kawasaki, JP; K. TANIKAWA et al.: "Charge-coupled devices: part II charge transfer characteristics"
    FUJITSU SCIENTIFIC & TECHNICAL JOURNAL, vol. 11, no. 3, septembre 1975, pages 79-99, Kawasaki, JP; H, SEI et al.: "Charge-coupled devices: Part I fabrication process"
    RCA REVIEW, vol. 34, no. 1, mars 1973, pages 164-202, Princeton, N.J., US; W.F. KOSONOCKY et al.: "Two-phase charge-coupled devices with overlapping polysilicon and aluminium gates"

Cited By (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-0376777-A1July 04, 1990Thomson Composants Militaires Et SpatiauxVerfahren zum Herstellen einer Ladungstransportanordnung
    FR-2641416-A1July 06, 1990Thomson Composants MilitairesProcede de fabrication d'un dispositif a transfert de charges